ARIES Series(ARIES系列)
Footprint 优化设计
Utility option:可组成PM用GAS，CDA，PCW(Process Cooling Water)的结构
ARIES-A400
– 最多可安装6个PM的结构
– 可以将传送晶圆同时传送到2个PM
– Load lock : DUAL STACK TYPE
– Load lock option : 可适用Cooling plate，Pre-Heater
ARIES-A600
– 最多可安装4个PM的结构
– Load lock : ANGLE Type
– Load lock option : 可适用Cooling plate，VCE(Vacuum Cassette Elevator)
ARIES-Inline
– 最多可安装4个PM的结构
– 适用2个VACUUM Robot的INLINE Type TM
– Load lock : STACK Type
– Load lock option : 可适用Cooling plate，Pre-Heater
ARIES-A600-450(450mm)
– 最多可安装5个PM的结构
– 可扩张为TANDEM型TM
– Footprint 优化设计
– Load lock : STACK Type
– Utility option : 可组成PM用GAS，CDA，PCW
– 450mm VTM Robot
