DURAPORT Series(DURAPORT系列)
Up / Down Mapping DURAPORT系列
可实现各种Safety Interlock
适用 RFID 的 Wafer ID Reading
DURAPORT-DE-300
– 300mm 晶圆 FOUP Open/Close 设备
– 可对应多种 FOUP
– SWMI S2 and CE
DURAPORT-DMN2-300
– 300mm 晶圆 FOUP Open/Close & N2 Purge 设备
– FOUP 内部可安装 N2 Purge 功能
– 可对应 1-In-let Nozzle & 3-In-let Nozzle FOUP
– 实现 FOUP 内 N2 Purge 时间的最小化
DURAPORT-DP-450(450mm)
– 450mm 晶圆 FOUP Open / Close 设备
– 对应 450mm FOUP
– Up / Down Mapping 功能
– 实现各种 Safety Interlock
– 适用 RFID 的 Wafer ID Reading
– Easy Maintenance
