PHOENIX Series(PHOENIX系列)
Footprint 优化设计
可使用FFU RPM MODE和压差MODE
在EFEM上面可以组成PM用ELEC RACK
PHOENIX-P200
– 安装2LPM
– Option : ALIGNER, Light curtain area sensor, Protection BAR
PHOENIX-P300
– 安装3LPM
– 适用LINEAR TRACK MODULE
– Option : ALIGNER, Side storage, Light curtain area sensor, Protection BAR
PHOENIX-P400
– 安装4LPM
– 适用LINEAR TRACK MODULE
– Option : ALIGNER, Side storage, Light curtain area sensor, Protection BAR
PHOENIX-P300-450(450mm)
– 安装2LPM（可扩张为3LPM）
– Footprint 优化设计
– Option : ALIGNER, Light curtain area sensor, Protection BAR
– 可使用FFU RPM Mode和压差Mode
– 在EFEM上面可以组成PM用ELEC Rack
– 450mm ATM Robot
– 450mm LPM
EFEM Software
EFEM Software是以Windows为基础的Platform，其环境是C#和C++。自主开发的EFEM Software安装于EFEM内并进行运行。支持使用于设备驱动的TMC和让用户容易使用的GUI。（不必要GUI，只有TMC就可以驱动设备。）
Control方式可分为处理Job和Schedule的‘Communication Control Type’以及从Process设备下达命令而驱动的‘EFEM Main Control Type’。Communication Control Type就是在EFEM Software和Process Module Controller之间进行Interface Communication的类型，同时与FA Host可以进行EFEM Status report。
