VEGA Series(VEGA系列)
晶圆 Notch & Center检测以及矫正
可以DELTA PICK & PLACE Mode
VEGA-300C-V
– VACUUM GRIP Type
– Option : LIFT PIN MODULE
– 可对应多种Robot End-Effector
VEGA-P300N-PS
– PASSIVE Type
– 作为晶圆Edge Contact可以实现晶圆backside的最小化
– 适用LIFT PIN MODULE
我们以培养创新人才和领先技术为企业精神，不断追求发展。
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